美國TEM氣體過濾器TEM-250-24用半導體制造
美國TEM氣體過濾器TEM-250-24用半導體制造TEM-250-24過濾器應用?一般和工藝惰性設施氣體。?關鍵工藝的清潔干燥空氣(CDA*),包括前開口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清潔和光刻。
美國TEM氣體過濾器TEM-250-24用半導體制造
TEM-228-16 1.0“內螺紋NPT入口/出口640.1 mm(25.2")
TEM-250-24 1.5“短管入口/出口637.5 mm(25.1")
TEM-250-32 2.0“短管入口/出口637.5 mm(25.1")
TEM-260-DN50法蘭(詳見圖紙)643.1 mm(25.32")
TEM-250-24過濾器應用
•一般和工藝惰性設施氣體。
•關鍵工藝的清潔干燥空氣(CDA*),包括前開口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清潔和光刻。
TEM-250-24過濾器功能和優(yōu)點
•電拋光外殼
過濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼,防止腐蝕和粒子在內表面上積聚。
•包裝外清潔度
我們的GasPro™ 清潔TEM-200過濾器,并包裝在無塵室內,不含有機物包裝外、無顆粒和無化學品清潔度。最終組裝已清除使用過濾氮氣進行初始清潔。附加的預處理是可選的。
•多種配件選項,便于安裝標準配件選項包括端面/墊片密封,壓縮、對焊和NPT。特殊配件,包括三夾鉗(三葉草)衛(wèi)生和法蘭類型,可根據要求提供。
•氦泄漏測試
所有裝置均以1x10-9 atm cc/s的速度進行測試。
。該放就放了吧,該棄就棄了吧,該舍就舍了吧,該忘就忘了吧!當我們無法改變事實時,我們可以改變自己的想法,改變面對生活的態(tài)度,從而改變結局。當我們能接受已經發(fā)生的,改變能改變的,煩惱自然就會越來越少。"
HYLIK海歷克張濤張經理今天給大家講講關于TEM過濾器TEM-250-32技術參數(shù)以及產品規(guī)格,目前沒有現(xiàn)貨額,訂貨周期10-12周左右,現(xiàn)在隨著美元匯率增長價格會有所增長額,常用于半導體制造,太陽能制造行業(yè),微電子行業(yè)廣泛使用中。美國TEM氣體過濾器TEM-250-24用半導體制造
GasPro™ TEM-200系列濾波器設計用于3 nm顆粒截留率高達200 scfm,且溫度高達80?C(176F)。ePTFE膜(1.36 m2/14.6平方英尺)使用聚丙烯支撐結構封閉在316L不銹鋼外殼,具有出色的流動性和耐化學性。使用標準Vitono形圈(其他o形圈材料可在重新測試時獲得)。
美國TEM-311-24過濾器參數(shù):
我們的多孔ePTFE過濾器提供有效的顆粒滯留3 nm。
最高工作溫度* 80°C(176°F)。 建議更換:在69C(156F)以上工作6個月。
最大工作壓力17.2 bar (250 psig) @ 20°C(68°F)。
最大正向差壓20C(68F): 6.0 bar (87 psi) 80?C(176F): 4.0 bar (58 psi)
一般和工藝惰性設施氣體,用于半導體,脂肪板顯示和其他高純度應用。 G酶用于關鍵的脂肪板工藝,包括襯底退火。 對于關鍵工藝,包括前開口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清洗和光刻,采用稀薄干燥的空氣。
TEM-200零件號和訂購信息
零件號入口/出口配件過濾介質/外殼其他材料長度(L)
TEM-215-16 1.0“陽墊圈密封入口/出口
PTFE/316L不銹鋼聚丙烯
氟橡膠®密封*658.4毫米(25.92英寸)